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在半导体制造中，即使是极少量的金属离子、颗粒杂质或有机污染物，也可能造成灾难性的后果。这些杂质会改变芯片内部电子的传输路径，增加电阻，导致芯片过热和性能下降。杂质还可能引发短路等问题，最终导致芯片无法正常工作。根据相关研究，芯片制造过程中因化学试剂纯度问题导致的良率损失可达20%-30%，这对于追求高精度、高产量的半导体行业来说，无疑是一个重大挑战。

磁力驱动泵在其中的关键作用

在整个半导体制造过程中，磁力驱动泵保障了化学试剂输送的连续性。其持续稳定的运行，确保了不同工艺所需化学试剂的及时供应，避免了试剂供应中断而导致的生产停机。以薄膜沉积工艺为例，需要向反应腔体持续输送特定的气体和液体化学试剂。化学泵的稳定运行，保障了沉积工艺的连续性，使薄膜生长均匀，从而保证了芯片的电性能和可靠性。

作为半导体行业备受青睐的一类化学泵，磁力驱动泵最大的亮点在于其独特的无机械密封设计。它采用磁力联轴器实现动力传递，泵轴与电机轴通过磁力相互作用，无需传统的机械密封装置。这种全密封设计如同给化学试剂穿上了一层坚固的“防护盔甲”，从根本上杜绝了介质泄漏的可能性。在半导体制程中，即使是极其微小的泄漏也会造成严重的污染问题，而磁力泵的出现完美地解决了这一隐患。在输送光刻胶的过程中，磁力泵可以确保光刻胶在密闭的管道中稳定流动，不发生任何泄漏，从而保证了光刻胶的高纯度。在高纯度电子级氢氟酸输送中，磁力泵的全密封特性有效避免了氢氟酸与外界空气的接触，防止了氢氟酸的挥发及泄漏可能造成的对环境和人员的危害，同时保证了氢氟酸的纯度不受影响，为后续蚀刻工艺提供了可靠的保障。